平面拋光機的主要目的是改善拋光速率,因此可以減少磨削過程中產生的損傷層。如果速率非常高,也會使拋光損傷層不會造成錯誤的組織,不會影響觀察到的材料組織。如果是使用粗磨,可以起到去除磨削損傷層的影響,也
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